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ユピモール(SA101/SA201)(ポリイミド)
ユピモール(SA101/SA201)(ポリイミド)
概要
給水率に優れた長耐熱性ポリイミド樹脂成形体
耐熱470℃/486℃
耐酸素プラズマ性良好
吸水率、従来型に比べ大幅減少
機械加工性良好
用途例
エッチング装置等のウェハ/ガラスの保持パーツ
真空中部品
絶縁材料
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