ナラサキ産業株式会社

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商品情報_FA・高機能材料

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プレートヒーター(ウエハー加熱用)

仕様

ウエハー加熱に適したプレートヒーター
ヒーター 超薄型マイカヒーター
材質 アルミ5052材 他
寸法 半導体 6"〜12"対応
温度 100〜350℃
分布 ±1.5℃以下/200℃

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