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プレートヒーター(ウエハー加熱用)
プレートヒーター(ウエハー加熱用)
仕様
ウエハー加熱に適したプレートヒーター
ヒーター
超薄型マイカヒーター
材質
アルミ5052材 他
寸法
半導体 6"〜12"対応
温度
100〜350℃
分布
±1.5℃以下/200℃
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